高纯甲基三氯硅烷(MTS)

高纯甲基三氯硅烷(MTS)

详细

采用316L不锈钢制作,容积有45L、250L、900L三种规格,1/2”、1/4”VCR接口阀门两种规格,容器可分别充装45kg、250kg、1000kg产品; 还可根据用户特殊要求提供不同包装和借口,包含ISO-TANK。

 

技术指标

成分/杂质名称

产品指标

纯度

≥99.99%(基于金属杂质)

三甲基一氯硅烷

<100ppm

四氯化硅

<100 ppm

金属杂质总量

<10 ppm

 

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