产品描述：
三氯氢硅包装采用316L不锈钢制作，容积有45L,250L,900L三种规格，阀门为1/2‘’、1/4‘’VCR接口阀门两种规格，容器可分别充装45KG,250KG,1000KG产品；还可根据用户特殊要求提供不同包装和接口，包括ISO-TANK.
技术数据表：
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气体名称
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三氯氢硅（SiHCl3）
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成分或杂质名称
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产品指标
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纯度
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≥99.99%
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电阻率
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≥1000 ohm.cm
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其他氯硅烷
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≤100 ppm/w
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碳（C）
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≤5 ppb/w
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施主杂质（砷As，磷P）
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≤0.07 ppb/w
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硼（B）
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≤0.01 ppb/w
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铁 (Fe)
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≤1 ppb/w
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镍（Ni）
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≤0.1 ppb/w
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铬（Cr）
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≤0.1 ppb/w
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