四氯化硅不锈钢瓶采用316L不锈钢制作的高洁净容器，容积有45L、250L、900L三种规格，阀门为1/2"、1/4”VCR接口阀门，三种规格容器可分别充装45kg、300kg和1000kg产品，还可根据用户需求提供不同包装和接口。
产品指标：
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气体名称
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SiCl4
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成分或杂质名称
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产品指标
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纯度
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≥99.9999%
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电阻率
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≥500 ohm.cm
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其他氯硅烷
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<1ppm/w
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碳
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<0.2ppb/w
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施主杂质（砷As、磷P）
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≤0.08ppb/w
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硼(B)
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≤0.1ppb/w
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铁(Fe)
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<2ppb/w
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镍(Ni)
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≤2ppb/w
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铬(Cr)
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≤1ppb/w
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