使用经过内壁镜面抛光、钝化处理的碳钢瓶。容积有10L、47L二种规格，阀门为CGA660/CGA350/CGA634，不同容积的容器均按充装系数0.25kg/L包装产品，还可根据用户需求提供不同包装和接口。
产品指标：
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材料级甲基硅烷
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气体名称
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Methylsilane(CH,SiH,)
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成份/杂质名称
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产品指标
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甲基硅烷
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≥99.5 %
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不凝气杂质(N，，Oz+Ar，CO，CH)
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≤0.2%
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硅烷
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≤0.2%
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氯硅烷
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≤0.1%
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电子级甲基硅烷
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气体名称
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Methylsilane(CH3SiH3)
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成份/杂质名称
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产品指标
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SiH3CH3
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>99.98%(不含其他甲基硅烷)
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N2
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≤10ppm/v
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Ar+O2
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≤2ppm/v
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CO2
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≤10ppm/v
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CH4
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≤50ppm/v
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SiH4
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≤50ppm/v
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Other Methylsilanes
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≤50ppm/v
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Chlorosilanes
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≤50ppm/v
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