使用经过内壁镜面抛光、钝化处理的碳钢瓶。容积有10L、47L二种规格，阀门为CGA660/CGA350/CGA634，两种规格容器可分别充装3KG和15KG产品，还可根据用户需求提供不同包装和接口。
技术指标
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材料级三甲基硅烷
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成分/杂质名称
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产品指标
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三甲基硅烷
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≥99.5 %
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不凝气杂质(N2, O2+Ar，CO2, CH4)
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≤1.0 %
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硅烷
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≤0.5 %
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氯硅烷
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≤0.5 %
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电子级三甲基硅烷
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成分/杂质名称
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产品指标
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( CH3)3SiH
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≥99.99%(不含其他甲基硅烷)
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N2
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≤10 ppm/v
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O2+Ar
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≤2ppm/v
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CO2
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≤5ppm/v
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CH4
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≤5ppm/v
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SiH4
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≤5ppm/v
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Other Methylsilanes
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≤300 ppm/v
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Chlorosilanes
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≤10 ppm/v
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