产品描述：
二氯二氢硅包装采用316L不锈钢制作，容积有10L、47L二种规格，分别充装10KG，40KG产品；阀门为CGA678/CGA636规格，还可根据用户特殊要求提供不同包装和接口。
技术数据表：
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气体名称
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二氯二氢硅 (SiH2Cl2)
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成分或杂质名称
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产品指标
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纯度
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≥99.9%
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电阻率
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≥400 ohm.cm
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其他氯硅烷
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≤1000 ppm/w
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碳（C）
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≤0.03 ppm/w
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施主杂质（砷As，磷P）
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≤0.08 ppb/w
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硼（B）
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≤0.01 ppb/w
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铁(Fe)
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＜2 ppb/w
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镍（Ni）
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≤0.2 ppb/w
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铬（Cr）
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≤2 ppb/w
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